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卷对卷连续化生长CVD设备

简要描述：该设备为我司研发用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的设备，此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，三路质量流量计气路系统，真空机组，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放铜箔或纤维丝的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有

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厂商性质：生产厂家
更新时间：2021-09-24
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bob综合半岛

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详细介绍

品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	电子

1.加热系统

zui高温度	1200℃
使用温度	≤1100℃
炉膛有效尺寸	Φ80mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。）
炉膛材料	氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型	K型热电偶
控温精度	±1℃
控温方式	30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7"工控电脑，内置PLC控制程序。
加热长度	200+200+200mm
加热原件	电阻丝
供电电源	单相，220V，50Hz

2、三路质子流量控制系统

连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N₂)	200sccm，500sccm、1000sccm （可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%F.S
线性	±1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
zui大压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6

3、低真空机组

空气相对湿度	≤85%
工作环境	5℃～40℃
工作电电压	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽气速率	10m³/h
极限真空	5X10-1Pa
工作压力范围	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值	0.03MPa
容油量	1.1L
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25
噪音	50dB
连接方式	采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

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