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| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子,综合 |
石墨烯生长系统主要特点：该设备是由1200度开启式管式炉、精密的质量流量控制系和真空系统所组成。广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。
1.石墨烯生长系统加热系统
最高温度 |
1200℃ |
使用温度 |
≤1100℃ |
石英管尺寸 |
Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1000mm |
炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 |
K型热电偶 |
控温精度 |
±1℃ |
控温方式 |
30段可编程控温，PID参数自整定。 |
加热长度 |
440mm |
恒温区长度 |
200mm |
加热原件 |
电阻丝 |
供电电源 |
单相，220V，50Hz |
2、三路质子流量控制系统
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2) |
200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制） |
准确度 |
±1.5%F.S |
线性 |
±1%F.S |
重复精度 |
±0.2%F.S |
响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
最大压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
3、低真空机组
空气相对湿度 |
≤85% |
工作环境 |
5℃～40℃ |
工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽气速率 |
10m³/h |
极限真空 |
5X10-1Pa |
工作压力范围 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐压值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
进气口口径 |
KF25 |
排气口口径 |
KF25 |
噪音 |
50dB |
连接方式 |
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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