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当前位置: 首页> 半岛平台官网入口网址> CVD系统> 二维材料制备> BTF-1200C-II-SL-CVD二维材料制备

二维材料制备

简要描述:二维材料制备CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好。

  • 产品型号:BTF-1200C-II-SL-CVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-10-22
  • 访 问 量:1015

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    详细介绍

    品牌 其他品牌 产地类别 进口
    应用领域 电子,综合

    设备二维材料制备CVD系统特点:此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好。

    二维材料制备CVD系统

    硫粉预热器

    工作温度:400℃

    最高温度:1200℃

    最快升温速率:≤30℃/min

    推荐升温速率:10℃/min

    控温方式:智能化30段可编程控制

    工作电压:AC220V

    额定功率:800W

    控温精度:±1℃

    加热元件:电阻丝

    加热区参数

    额定功率:5kw

    最高温度:1200℃

    工作温度:1100℃

    最大升降温速率:≤30℃/min

    炉管尺寸:高纯度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100X1650mm (管径可选)

    加热区长度:200+200mm

    恒温区长度:290mm

    控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

    标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支;

    尺寸:约 550×380×600 mm(炉子)

    约:1700×380×620 mm(炉子+滑轨)

    可选配单温区、双温区、三温区等加热区。

    气路系统参数

    质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

    准确度:±1.5%

    线性:±0.5~1.5%

    重复精度:±0.2%

    响应时间:≤10 sec

    工作压差范围:0.1~0.5 MPa

    最大压力:3MPa

    接口:Φ6,1/4''

    显示:4位数字显示

    工作环境温度:5~45高纯气体

    内外双抛不锈钢管:Φ6

    压力真空表:-0.1~0.15 MPa,0.01 MPa/格

    截止阀:Φ6

    连接头类型:双卡套不锈钢接头

    可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计

    低真空系统参数

    抽速:10m³/h

    极限真空度:5*10-1pa

    电源:220V 50HZ

    电机功率:0.4kw

    进排气连接口:KF25

    用油量:1.1L

    电机转速:1440rpm

    工作环境温度:5-40℃

    噪音:≤56db

    电阻真空计参数:

    1.配用规管:电阻规

    2.测量范围: 105~10-1Pa

    3.测量路数: 1路

    4.控制范围: 5×103~5×10-1Pa,

    5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

    6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

    7.功耗: 20W

    使用注意事项

    炉管内气压不可高于0.02MPa

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