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供气系统

简要描述：该供气系统（ 1路质子 2路浮子）是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

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厂商性质：生产厂家
更新时间：2021-10-14
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供气系统

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品牌	其他品牌	产地类别	国产
应用领域	环保,化工,能源,电子

供气系统的主要特点：该（1路质子 2路浮子）是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。本配比器适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观，实用，操作简便。流量显示准确，可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。

供气系统的技术参数

产品型号	GMF-1Z-2F
浮子流量计	10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min （浮子流量计的量程可根据用户需要选订）
质量流量控制器	工作电压：	185~245V 50HZ
	最大输出功率：	18W
	流量计标准量程：	100sccm 、200sccm 、500sccm （非特殊以氮气标定，量程可选）
	工作温度：	5~45℃
	工作压差：	0.1~0.5MPa
	最大压力：	3MPa
	准确度：	±1.5% FS
机械压力表	测量范围：	-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
针阀	316不锈钢
混气罐	Φ80×120mm
截止阀	Φ6mm 316不锈钢针阀
尺寸	600×600×650 mm

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