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      摇摆炉BTF-1200C-SK 1.,30段可编程精密温度控制器 2.可根据不同的客户需求来设定升降温程序 3.可设定取放料工位 4.设定摇摆起始工位(如横向作为起始工位),可实现液晶屏一键归位 5.可通过摇摆提高熔体均匀性、细化晶粒
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      型号:BTF-1200C-S-SL-CVD

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      型号:BTF-1200C-S-PECVD

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      微型PECVD系统,它包括小型真空管式炉,石英真空室、真空抽气与真空测量系统、气路系统、射频电源系统、物料喷射系统。电源范围宽:0-100W可调; 温度范围宽:100-1200度可调;溅射区域宽:0-600mm可调;适用范围宽:金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,连续生长各种薄膜等。增加功能容易,可扩展等离子清洗刻蚀等功能。
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