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      单温区滑轨式PECVD系统本设备主要针对实验中试石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
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      三温区滑轨式PECVD系统本设备主要针对实验中试石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
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      双炉滑轨PECVD该PECVD(等离子化学气相沉积系统)系统,有多路质量流量计系统(进口流量计),真空机组(进口真空泵),PE射频电源(进口射频源),温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化,有利于降低工艺温度,同时扩大工艺的使用条件,满足更多的工艺实验要求,如石墨烯、碳纳米管等,控制操作系统集成于触摸屏操作面板上,便于操作与观察。
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